法國PIEZOCONCEPT 三軸緊湊型位移平臺

SPM3系列三軸超高速納米定位器

三軸超高速納米定位器。

SPM3級的Z部分可以具有高達50μm的行程范圍，并提供市場上最高的速度能力（高達12.5kHz諧振頻率）。專為原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應用而設計

SPM3載物臺是一款3軸超高速納米定位器，沿X和Y的行程范圍高達75μm，兩個軸上的諧振頻率均高于2kHz。

SPM3級的Z部分可具有高達50μm的行程范圍，并提供市場上最高的速度能力，最大諧振頻率為12.5kHz。事實上，當與高功率控制器一起使用時，SPM3.5在Z軸上的階躍響應時間可以小于一毫秒。這就是為什么SPM載物臺特別適合要求苛刻的計量應用，如原子力顯微鏡。

它可以與粗定位的微載物臺結合使用（請參閱我們的混合系統）。該納米定位器是我們高速產品線的一部分（提供高功率控制器）

LFS3 是一款 3 軸納米定位器，沿 X 和 Y 提供 100μm 的行程，沿 Z 軸的行程為 20 μm，孔徑為 40 x 40 mm

該壓電級可以與粗定位的微級結合使用。

C3型三軸位移臺 三軸緊湊型納米定位器。光纖對準、2光子聚合、激光寫入應用等應用的理想工具。C3 經過專門設計，可提供 100μm 或 200μm 的行程范圍，同時保持其緊湊的外觀。該平臺還提供 2 軸版本 （C2） 以及 X 軸 （CX） 或 Z 軸 （CZ） 的 1 軸版本。

由于其吸引力的價格和高性能，該平臺在光纖對準和激光寫入應用方面取得了壓倒性的成功。

法國PIEZOCONCEPT 三軸緊湊型位移平臺